Spitzentechnologie für Hightech-Applikationen

Die Produktion von Halbleitern hat sich in den letzten Jahren sehr gewandelt. Für die verschiedenen Schritte in der Herstellung ist präzise und zuverlässige Prozessenergie gefordert. TRUMPF Hüttinger Stromversorgungen bedienen von Abtragungsprozessen durch Trockenätzen bis zum Zonenziehen zur Herstellung reinsten Siliziums ein breites Spektrum an Halbleiteranwendungen.

Abbildung einer Waferplatte
Präzise Strukturen für die Halbleitertechnik

Beim Einsatz von Prozessstromversorgungen blicken wir hierbei auf eine jahrzehntelange Hersteller- und Applikationserfahrung. Die wesentlichen Bereiche der Halbleiterproduktion deckt TRUMPF Hüttinger mit DC-, MF- und RF-Generatoren und den passenden Systemkomponenten ab.

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