Hartstoffbeschichtung der nächsten Generation

HIPIMS, Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern, ist die neueste Technologie gepulster PVD-Sputterverfahren und liefert besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen. Zur Anwendung kommen HIPIMS-Hartstoffbeschichtungen vor allem in der Autoindustrie, bei Werkzeugmaschinen, in der Halbleiterindustrie und bei dekorativen Beschichtungen. HIPIMS überzeugt auch in anderen Bereichen gegenüber herkömmlich gepulsten DC-Prozessen. Beim präzisen Schichtaufbau in der Halbleiterindustrie und der Reinigung von Oberflächen kann HIPIMS überzeugen.

Foto: mittels HIPIMS gehärtete Zahnräder
Harte und verschleißfeste Schichten mit HIPIMS

Zur Wirkungsweise: Vor der Kathode wird ein hochdichtes Plasma gezündet und ein hoher Anteil der gesputterten Atome ionisiert. Dafür bringen Generatoren für den Bruchteil einer Millisekunde Leistung im Megawattbereich in den Prozess. Sie ermöglichen so die extreme Plasmadichte. Die durch HIPIMS generierten Schichten sind besonders hart und erfolgen ohne dass Materialtröpfchen auftreten.

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