TruPlasma VHF Serie 3000

Innovativ, modular, skalierbar


Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, Mikrochips und Solarzellen sind reproduzierbare Plasmaprozesse der Schlüssel zu konsistenten Ergebnissen. Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 lassen sich optimal an den jeweiligen Prozess anpassen und bieten dank ihrer stabilen Ausgangsleistung, schnellem Arc-Management und hoher Regelgenauigkeit beste Voraussetzungen für exzellente Ergebnisse.


Basierend auf einem innovativen Plattform-Konzept ermöglichen sie höchste Leistungsdichten und erfüllen anspruchsvollste Prozessanforderungen Der modulare und rein wassergekühlte Aufbau ermöglicht eine Skalierung der Ausgangsleistung auf bis zu 80 kW. Darüber hinaus überzeugen die kompakten VHF-Generatoren durch hohe Wirtschaftlichkeit und ein robustes Design.


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