TruPlasma VHF Serie 3000

Innovativ, modular, skalierbar

Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 basieren auf einem innovativen Plattform-Konzept, das höchste Leistungsdichten ermöglicht und anspruchsvollste Prozessanforderungen erfüllt. Der modulare und rein wassergekühlte Aufbau ermöglicht eine Skalierung der Ausgangsleistung auf bis zu 80 kW. Darüber hinaus überzeugen die kompakten VHF-Generatoren durch hohe Wirtschaftlichkeit und ein robustes Design.

Eigenschaft Nutzen
Genaues und schnelles Multi-Level Pulsing   Flexible und reproduzierbare Pulsformung mittels digitaler Signalmodulation
Minimale Rampenzeit < 150 ns   Ermöglicht eine sehr flexible Steuerung des Generator-Zündverhaltens
Smartes Auto Frequency Tuning   Automatische Frequenzanpassung für ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator und Matchbox
Verlässliche und verfeinerte Prozesskontrolle   Exzellente, reproduzierbare Prozessergebnisse dank hochgenauer digitaler Frequenzmodulation
Robustes Design   Zuverlässige Funktion des Generators auch bei Fehlanpassung dank CombineLine-Technologie
Flexible Pulsformung   Flexible Pulsformung: Die Form des Ausgangssignals kann beliebig an die jeweiligen Prozessanforderungen angepasst werden.
Arc-Management   Arcs werden bereits in der Entstehungsphase zuverlässig erkannt und unterdrückt, bevor sie Schäden verursachen können.

Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 lassen sich optimal an den jeweiligen Prozess anpassen, wobei das schnelle Arc-Management eine stabile Beherrschung des Plasmas ermöglicht. Typische Fertigungsprozesse umfassen PECVD-, Sputter- und Ätzprozesse, somit bewähren sie sich bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Solarzellen. Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.

Optimal ergänzt werden die Generatoren durch die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13). TRUMPF Hüttinger bietet somit die komplette HF-Systemlösung, bei der alle Komponenten perfekt aufeinander abgestimmt, aber auch einzeln einsetzbar sind.

Leistung [kW]
Frequenz [kHz]
TruPlasma VHF Serie 3000
TruPlasma VHF Serie 3000 5 40680 water (±10%) 200 - 480
TruPlasma VHF Serie 3000 10 40680 water (±10%) 200 - 480
Änderungen vorbehalten. Maßgeblich sind die Angaben in unserem Angebot und unserer Auftragsbestätigung.

TruPlasma VHF Serie 3000